近日，我司自管基金投資企業(yè)合肥御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（以下簡稱“御微半導(dǎo)體”）首臺Halo-100 掩模基板缺陷檢測產(chǎn)品成功發(fā)運，并順利交付國內(nèi)先進(jìn)掩模廠。

御微半導(dǎo)體自主研發(fā)的Halo-100設(shè)備作為御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”產(chǎn)品線的第二款產(chǎn)品，憑借御微多年來在掩模檢測領(lǐng)域積累的豐富經(jīng)驗和技術(shù)儲備，以高精度光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性運動臺系統(tǒng)以及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合御微專有的算法和軟件系統(tǒng)，成功實現(xiàn)了針對掩模基板(blank)缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應(yīng)用領(lǐng)域拓展至掩模廠來料檢和掩模基板廠全制程控制檢。 

御微半導(dǎo)體Halo-100掩模基板缺陷檢測產(chǎn)品

我司于2023年初通過合肥國正多澤產(chǎn)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）投資該企業(yè)，另外，國正公司參股基金合肥石溪產(chǎn)恒二期、長三角數(shù)字基金共同助力御微半導(dǎo)體，未來，國正公司將充分利用資源，為御微半導(dǎo)體提供持續(xù)的產(chǎn)業(yè)賦能與支持，護(hù)航企業(yè)穩(wěn)步發(fā)展，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展。